中频磁控溅射制备a-C∶H薄膜中沉积功率的影响

来源 :太原师范学院学报：自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：linda456

【摘要】

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采用中频反应磁控溅射方法,在不同溅射沉积功率下,在单晶Si基片上沉积了a-C∶H薄膜.研究了不同沉积功率对a-C∶H薄膜的形貌、硬度、弹性的影响,并用Raman和FITR分析了引起a-C

【作者】

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姜辉邹宇

【机构】

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江苏盐城师范学院物理科学与电子技术学院,四川大学原子核科学技术研究所

【出处】

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太原师范学院学报：自然科学版

【发表日期】

：

2009年1期

【关键词】

：

中频反应磁控溅射类金刚石薄膜硬度弹性模量 middle frequency reactive sputtering Diamond-Like Carbon

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采用中频反应磁控溅射方法,在不同溅射沉积功率下,在单晶Si基片上沉积了a-C∶H薄膜.研究了不同沉积功率对a-C∶H薄膜的形貌、硬度、弹性的影响,并用Raman和FITR分析了引起a-C∶H薄膜形貌和力学性能变化的原因.结果表明,沉积功率对薄膜的形貌、硬度和弹性都有很大的影响,在功率为140 W时沉积的a-C∶H薄膜表面致密,具有最大的硬度和弹性模量.

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