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根据薄膜光学计算理论和最优化理论,提出了用自适应模拟退火法结合共轭梯度法确定薄膜厚度的新方法.该方法建立的数学模型先采用自适应模拟退火算法搜索,再采用共轭梯度算法精确查找.它不但减少了无损伤测量方法对初始计算条件的过多依赖,而且在保证精确度的情况下极大地提高了计算速度,同时有很高的适应性.实验中,应用该方法求解了三层膜系的厚度,计算时间为3s,计算误差小于4nm.