【摘 要】
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降低芯片背面金属-半导体欧姆接触电阻是有效提高器件性能的方式之一.采用650 V SiC肖特基势垒二极管(SBD)工艺,使用波长355 nm不同能量的脉冲激光进行退火实验,利用X射线衍射(XRD)和探针台对晶圆背面镍硅合金进行测量分析,得出最佳能量为3.6 J/cm2.退火后采用扫描电子显微镜(SEM)观察晶圆背面碳团簇,针对背面的碳团簇问题,在Ar2气氛下对晶圆进行了表面处理,使用SEM和探针台分别对两组样品的表面形貌和电压-电流特性进行了对比分析.实验结果表明,通过表面处理可以有效降低表面的碳含量,并
【机 构】
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中国电子科技集团公司第十三研究所,石家庄050051
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降低芯片背面金属-半导体欧姆接触电阻是有效提高器件性能的方式之一.采用650 V SiC肖特基势垒二极管(SBD)工艺,使用波长355 nm不同能量的脉冲激光进行退火实验,利用X射线衍射(XRD)和探针台对晶圆背面镍硅合金进行测量分析,得出最佳能量为3.6 J/cm2.退火后采用扫描电子显微镜(SEM)观察晶圆背面碳团簇,针对背面的碳团簇问题,在Ar2气氛下对晶圆进行了表面处理,使用SEM和探针台分别对两组样品的表面形貌和电压-电流特性进行了对比分析.实验结果表明,通过表面处理可以有效降低表面的碳含量,并且使器件正向压降均值降低了6％,利用圆形传输线模型(CTLM)测得芯片的比导通电阻为9.7×10-6 Ω·cm2.器件性能和均匀性都得到提高.
其他文献
采用化学气相输运(CVT)法和微机械剥离技术制备了SnS2薄膜,使用Au电极作为源、漏电极,n型重掺杂Si作为栅极,制备了基于SnS2薄膜的背栅型场效应晶体管(FET),并研究了其电学特性和可见光探测特性.结果 表明,制备的SnS2薄膜具有良好的结晶度,SnS2薄膜背栅型FET具备良好的栅压调控特性.器件对波长为405 nm的蓝紫光表现出明显的光响应,光响应度高达456.82 A·W-1,外量子效率为1.40× 105％,比探测率为7.12× 1012 Jones,并且具有较快的光响应速度,上升和下降响应
目的:观察盘龙七片治疗膝骨关节炎患者的效果.方法:选取118例膝骨关节炎患者为研究对象,按照随机数字表法分为对照组和观察组各59例,对照组给予常规西药治疗,观察组在对照组基础上给予盘龙七片治疗.比较两组疗效、治疗前后Lysholm膝关节功能评分、膝关节活动度、血清炎性因子[肿瘤坏死因子-α(TNF-α)、白介素-6(IL-6)、超敏C反应蛋白(hs-CRP)]水平,以及不良反应发生率.结果:治疗后,两组TNF-α、IL-6、hs-CRP水平均低于治疗前,且观察组低于对照组,两组Lysholm评分和膝关节活
设计并研究了一种带有轻掺杂漏(LDD)和斜向扩展源(OES)的双栅隧穿场效应晶体管(DG-TFET),并利用Sentaurus TCAD仿真工具对栅长及扩展源长度等关键参数进行了仿真分析.对比了该器件与传统TFET的亚阈值摆幅、关态电流和开关电流比,并从器件的带带隧穿概率分析其优势.仿真结果表明,该器件的最佳数值开关电流比及亚阈值摆幅分别可达3.56×1012和24.5 mV/dec.另外,该DG-TFET在双极性电流和接触电阻方面性能良好,且具有较快的转换速率和较低的功耗.
Cu2ZnSnS4(CZTS)薄膜因其元素储量高、较佳的光学带隙、优异的电学性能等优势而得到广泛关注.以硝酸铋为铋源、乙酸钠为钠源,采用溶胶-凝胶法制备Na-Bi掺杂的CZTS薄膜.研究Na-Bi共掺对CZTS薄膜的物相结构、微观形貌、光学性能以及光电性能的影响.结果 表明,制备的薄膜为锌黄锡矿结构.Na和Bi元素的掺入对薄膜的微观形貌影响较大.固定Na的原子数分数为1％,随着Bi元素原子数分数的增加,薄膜的晶粒尺寸先增大后减小,均匀性逐渐提高,光敏性先增大后减小,光学带隙逐渐增大.当Na和Bi原子数分数
目的:观察补肾健骨汤联合经皮椎体成形术治疗骨质疏松性胸腰椎压缩骨折患者的效果.方法:选取62例骨质疏松性胸腰椎压缩骨折患者为研究对象,按照随机数字表法分为观察组与对照组各31例.对照组行经皮椎体成形术治疗,观察组在对照组治疗基础上联合补肾健骨汤治疗,比较两组疗效、骨钙素(BGP)水平、骨密度、Oswestry功能障碍指数(ODI)、伤椎前缘高度比、伤椎楔变角、后凸Cobb角和并发症发生率.结果:观察组治疗总有效率为87.10％,明显高于对照组的64.52％,差异有统计学意义(P<0.05);术后6周,两组
目的:观察补肾活血方联合缬沙坦治疗2型糖尿病肾病Ⅲ期患者的效果.方法:选取200例2型糖尿病肾病Ⅲ期患者作为研究对象,按随机数字表法分为对照组和观察组各100例.对照组给予缬沙坦胶囊治疗,观察组在对照组基础上联合补肾活血方治疗,比较两组临床疗效、治疗前后糖代谢指标[糖化血红蛋白(HbA1c)、空腹血糖(FPG)、餐后2 h血糖(2hPG)]水平、促纤维化因子[肿瘤坏死因子受体1(TNFR1)、基质金属蛋白酶-9(MMP-9)、血管内皮生长因子(VEGF)]水平和治疗期间不良反应发生率.结果:观察组治疗总有
采用柠檬酸作为pH调节剂和分散剂,针对CeO2磨料水溶液的分散性差以及浅沟槽隔离(STI)化学机械抛光(CMP)过程中正硅酸乙酯(TEOS)/氮化硅(Si3N4)的去除速率选择性难以控制的问题进行了研究.分散实验结果表明,由于柠檬酸可以结合在CeO2颗粒表面从而极大提高了CeO2磨料的空间位阻,CeO2溶液的分散稳定性得到提升,因此,与酒石酸、硝酸和磷酸相比,在CeO2溶液中使用柠檬酸作为pH调节剂,可以使CeO2磨料具有更小的粒径和较低的分散度以及使CeO2溶液具有较高绝对值的Zeta电位.抛光实验结果
目的:观察健脾导滞交通汤联合常规西药治疗糖尿病性胃轻瘫(DGP)患者的效果.方法:选取90例DGP患者作为研究对象,依据随机数字表法分成对照组和观察组各45例.对照组采用常规西药治疗,观察组在对照组基础上采用健脾导滞交通汤治疗,比较两组临床疗效、治疗前后胃泌素(GAS)和胃动素(MOT)水平,以及不良反应发生率.结果:观察组治疗总有效率为95.56％(43/45),高于对照组的80.00％(36/45),差异有统计学意义(P<0.05);治疗后,观察组GAS和MOT水平均低于对照组,差异有统计学意义?(P
目的:分析液基细胞学检查(TCT)、人乳头瘤病毒(HPV)-DNA、P16蛋白联合检查在早期宫颈癌筛查中的应用价值.方法:选取182例宫颈病变患者作为研究对象,入选者均行TCT、HPV-DNA、P16蛋白检查.以阴道镜下活检结果为金标准,比较TCT、HPV-DNA、P16蛋白单项及联合检查在早期宫颈癌诊断中的效能.结果:182例宫颈病变患者中,经阴道镜检出阳性110例,占60.44％;TCT、HPV-DNA、P16蛋白联合检查诊断早期宫颈癌的灵敏度、准确度、特异度、阳性预测值和阴性预测值均明显高于单项检查
目的:分析超声剪切波弹性成像(SWE)在甲状腺结节良恶性鉴别中的诊断效能.方法:回顾性分析该院2019—2020年收治的88例甲状腺结节患者的临床资料.对其进行二维超声和SWE检查,以手术病理结果为金标准,比较二维超声与SWE对良恶性甲状腺结节的诊断效能,以及诊断甲状腺恶性结节的图像特征.结果:手术病理结果显示,良性结节36例,恶性结节52例;SWE诊断甲状腺结节良恶性的特异度、灵敏度、准确度、阳性预测值和阴性预测值均高于二维超声,差异有统计学意义(P<0.05);SWE检查甲状腺恶性结节低或极低回声检出