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简要地评述了硅微波功率ＤＭＯＳＦＥＴ（ＬＤＭＯＳ，ＶＤＭＯＳ）的发展概况，叙述了硅微波功率ＤＭＯＳ的基本结构和一些重要的制造技术。对微波功率ＤＭＯＳ的性能，特点与ＢＪＴ进行了比较，并对其应用，发展方向及前景进行了探讨。
硅微波功率DMOSFET发展现状
【摘 要】
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简要地评述了硅微波功率ＤＭＯＳＦＥＴ（ＬＤＭＯＳ，ＶＤＭＯＳ）的发展概况，叙述了硅微波功率ＤＭＯＳ的基本结构和一些重要的制造技术。对微波功率ＤＭＯＳ的性能，特点与ＢＪＴ进行了比较，并对其应用，发展方向及前景进行了探讨。
【机 构】
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电子十三所
【出 处】
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半导体情报
【发表日期】
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1999年6期
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