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本文推导了环境-膜-基底系统的反射率对于膜厚变化的灵敏度因子公式,利用计算机对三个不同的膜进行了模拟计算,得出了该灵敏度因子对于入射角的依赖关系曲线,并以此为基础讨论了椭偏测量中入射角的选择问题。
椭偏测量中反射率对于膜厚变化的灵敏度因子
【摘 要】
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本文推导了环境-膜-基底系统的反射率对于膜厚变化的灵敏度因子公式,利用计算机对三个不同的膜进行了模拟计算,得出了该灵敏度因子对于入射角的依赖关系曲线,并以此为基础讨论了椭偏测量中入射角的选择问题。
【机 构】
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山东大学光学系
【出 处】
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光学学报
【发表日期】
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1985年5期
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