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Fabrication of iron disilicide from multilayer by helicon plasma sputtering
【机 构】
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CollegeofMaterialsScienceandTechnologyNanjingUniversityofAeronauticsandAstronauticsNanjing210016Chin
【出 处】
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中国有色金属学会会刊：英文版
【发表日期】
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2005年S3期
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