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综述了多孔硅的形成机制,并分别对用n-Si和p-Si形成多孔硅的机理进行了分析.
多孔硅的形成与理论分析
【摘 要】
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综述了多孔硅的形成机制,并分别对用n-Si和p-Si形成多孔硅的机理进行了分析.
【机 构】
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曲阜师范大学物理系
【出 处】
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曲阜师范大学学报：自然科学版
【发表日期】
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2002年3期
【基金项目】
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山东省自然科学基金
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