静电卡盘与晶圆之间的接触热阻研究

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：softwareuse

【摘要】

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【作者】

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孙钰淳程嘉路益嘉季林红王春财

【出处】

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真空科学与技术学报

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

：

接触导热气体导热热阻静电卡盘晶圆稀薄气体影响因素

【基金项目】

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国家科技重大专项02(2011ZX02403);国家自然科学基金项目(51175284)

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