使用椭偏光谱研究氮化铝薄膜在不同温度下的光学性质

来源 :红外与毫米波学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：daxian005

【摘要】

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通过椭偏仪对生长在蓝宝石上的不同厚度氮化铝薄膜的变温光学性质进行了研究,并采用托克-洛伦兹模型对椭偏实验数据进行了拟合分析,精确得到了氮化铝薄膜的厚度和光学常数(折

【作者】

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林书玉吴峰陈长清梁毅万玲玉冯哲川

【机构】

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广西大学物理科学与工程技术学院,广西相对论天体物理重点实验室,光电子材料与探测技术实验室,广西南宁530004华中科技大学武汉光电国家实验室,湖北武汉,430074;

【出处】

：

红外与毫米波学报

【发表日期】

：

2017年3期

【关键词】

：

氮化铝椭偏仪厚度温度

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通过椭偏仪对生长在蓝宝石上的不同厚度氮化铝薄膜的变温光学性质进行了研究,并采用托克-洛伦兹模型对椭偏实验数据进行了拟合分析,精确得到了氮化铝薄膜的厚度和光学常数(折射率n,消光系数k)等.研究的结果表明:相比薄的氮化铝薄膜,厚的氮化铝薄膜的折射率较大.随着温度的升高,氮化铝的折射率、消光系数和带隙会向低能端单调地移动(红移);厚度对带隙随温度改变的影响较小,对折射率则有一定的影响.

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