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键合点根部损伤是Al丝超声键合工艺中最常见的问题之一，严重的根部损伤不仅使焊点的键合强度降低，甚至会使键合点失效。本文通过优化键合机器的工艺参数，分析键合丝的组成成份和采取不同的退火条件，研究Al丝超声键合中键合点根部损伤的程度，为键合丝的选用提供依据，也为进一步提高Al丝超声键合强度做一些基础工作。