【摘 要】
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根据超纯硅生产和实验中观察到的各种现象及大量实验数据的统计、归纳和分析,揭示了在超纯硅制备工艺中杂质的分布规律,以及它们在过程中的存在形态和行为。特别是对硅材料界
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根据超纯硅生产和实验中观察到的各种现象及大量实验数据的统计、归纳和分析,揭示了在超纯硅制备工艺中杂质的分布规律,以及它们在过程中的存在形态和行为。特别是对硅材料界一直引起争议的杂质硼在过程中的存在形态和行为提出了初步见解。
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