气体稀释装置检测方法初探

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建立了基于质量流量控制器的气体稀释装置的检测方法.通过对钢瓶装气体标准物质的浓度及其气相色谱仪峰面积值制作标准曲线,得出气体稀释样品的浓度测量值,并计算气体稀释装置的实测稀释比.将稀释装置设定的稀释比和实测稀释比进行比较,计算气体稀释装置的稀释误差.以异丁烯为气体标准物质,采用2个质量流量控制器组成的一套气体稀释装置,初步探讨了该气体稀释装置的稀释误差、线性和重复性.
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