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介绍一种适用于软质低反光材料检测的半导体激光位置探测器ＰＳＤ，用半导体激光器和位置探测器件及相关光学数控系统来测量软质低反光材料，进行无接触式高精度测量，被测件表面不损伤，无擦痕、不变殂，测量精度高、分辨率高。
用PSD精确测量软质低反光材料
【摘 要】
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介绍一种适用于软质低反光材料检测的半导体激光位置探测器ＰＳＤ，用半导体激光器和位置探测器件及相关光学数控系统来测量软质低反光材料，进行无接触式高精度测量，被测件表面不损伤，无
【机 构】
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四川大学制造学院
【出 处】
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四川大学学报(工程科学版)
【发表日期】
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2000年1期
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