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采用钽片阳极氧化和硝酸锰热分解方法,制备Ta2O5/MnO2复合薄膜,研究了电解液种类、浓度(质量分数)、电压对Ta2O5/MnO2复合薄膜绝缘性能的影响.
Ta2O5／MnO2复合湿敏薄膜制备工艺研究
【摘 要】
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采用钽片阳极氧化和硝酸锰热分解方法,制备Ta2O5/MnO2复合薄膜,研究了电解液种类、浓度(质量分数)、电压对Ta2O5/MnO2复合薄膜绝缘性能的影响.
【机 构】
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哈尔滨理工大学,黑龙江省移动通讯局,上海交通大学
【出 处】
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哈尔滨理工大学学报
【发表日期】
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2002年6期
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