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分析了高温高浓度磷扩散工艺生产中的种种弊病，提出了类似于硼扩散的磷扩散方法，详细分析了新方法的可行性及优点，实验结果和理论分析一致。
发射结磷扩散方法的改进
【摘 要】
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分析了高温高浓度磷扩散工艺生产中的种种弊病，提出了类似于硼扩散的磷扩散方法，详细分析了新方法的可行性及优点，实验结果和理论分析一致。
【机 构】
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武汉大学物理系
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1998年2期
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