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本文通过对失效样本的外观检查、有机溶剂去除保护层、万用表逐圈检查初步定位失效部位和40倍显微镜放大检查的4个步骤,成功准确地找到了金属膜电阻的失效部位。并从电气角度分析了金属膜电阻的失效过程,总结了提高金属膜电阻的可靠性的方法,为金属膜电阻的失效分析提供了一种思路和解决方案。
金属氧化膜电阻的失效分析方法研究
【摘 要】
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本文通过对失效样本的外观检查、有机溶剂去除保护层、万用表逐圈检查初步定位失效部位和40倍显微镜放大检查的4个步骤,成功准确地找到了金属膜电阻的失效部位。并从电气角度
【机 构】
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国电南京自动化股份有限公司
【出 处】
：
中国集成电路
【发表日期】
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2017年11期
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