共溅射与多层膜溅射制备FePt：Ag颗粒膜的微观结构比较

来源 :稀有金属材料与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zkhe

【摘要】

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采用共溅射和多层膜溅射两种不同的溅射方式制备FePt:Ag颗粒膜.MFM和TEM微观结构观测的结果表明:与多层膜溅射制备的FePt:Ag颗粒膜相比,共溅射制备的颗粒膜具有更小的磁畴尺

【作者】

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程晓敏李佐宜王建平

【机构】

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华中科技大学,新加坡数据存储研究所

【出处】

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稀有金属材料与工程

【发表日期】

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2005年12期

【关键词】

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FePt:Ag颗粒膜微观结构共溅射多层膜溅射 FePt：Ag granular films microstructure co-sputtering

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采用共溅射和多层膜溅射两种不同的溅射方式制备FePt:Ag颗粒膜.MFM和TEM微观结构观测的结果表明:与多层膜溅射制备的FePt:Ag颗粒膜相比,共溅射制备的颗粒膜具有更小的磁畴尺寸和晶粒尺寸,并且其磁畴和晶粒的分布更加均匀.这种微观结构上的区别可解释为共溅射制备的颗粒膜中Ag原子的分布更加具有随机性.对薄膜内部缺陷的研究进一步证实了该解释.

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