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本文论述了半导体器件静电损伤及防护措施，阐述了静电放电（ＥＳＤ）失效的敏感电压、静电放电模型、静电对ＣＭＯＳ电路的损伤、提高器件抗静电损伤的方法、无静电工作环境的建立以及包装、储存、运输时防静电的措施。
浅谈半导体器件静电损伤及防护措施
【摘 要】
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本文论述了半导体器件静电损伤及防护措施，阐述了静电放电（ＥＳＤ）失效的敏感电压、静电放电模型、静电对ＣＭＯＳ电路的损伤、提高器件抗静电损伤的方法、无静电工作环境的建立以及包装、储存
【机 构】
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电子部第五研究所
【出 处】
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电子产品可靠性与环境试验
【发表日期】
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1998年3期
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