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本文通过对磁控溅射氧化锡镀膜工艺的研究，指出在不同溅射功率、不同工艺气体流量下，如何稳定、高效地控制氧化锡磁控溅射镀膜工艺。
磁控溅射氧化锡镀膜工艺
【摘 要】
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本文通过对磁控溅射氧化锡镀膜工艺的研究，指出在不同溅射功率、不同工艺气体流量下，如何稳定、高效地控制氧化锡磁控溅射镀膜工艺。
【机 构】
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金堆城洛阳节能玻璃有限公司
【出 处】
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建筑玻璃与工业玻璃
【发表日期】
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2013年12期
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