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1 引言半导体的发展方向是高速率、高集成度和低成本.诸如激光器、显微镜、透镜等光学技术手段在半导体工业中有着广泛的应用,并正寻找新的和更好的方法使半导体生产更加有效.虽然光学技术面临来自基于离子和电子的技术的竞争,但是这些技术仍将需要光子学的协助.本文综述了各种光子学技术在半导体工业中的应用.
光子学在半导体工业中的应用
【摘 要】
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1 引言半导体的发展方向是高速率、高集成度和低成本.诸如激光器、显微镜、透镜等光学技术手段在半导体工业中有着广泛的应用,并正寻找新的和更好的方法使半导体生产更加有效
【机 构】
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同济大学
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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2002年2期
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