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提出了基于MEMS微镜和透射式衍射光栅的可调光滤波器(TOF)方案,并对TOF进行了详细的设计。其中MEMS微镜采用体硅微加工工艺制作,镜面尺寸达到1.8mm×2.7mm,扭转角度达到±2.1°。测试结果显示,TOF系统的偏振相关损耗为0.34dB,插入损耗为2.6dB。该系统成功地实现了波长调谐的功能,得到相邻通道之间的调谐时间为1.507ms。