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本文采用SHS工艺对低游离硅(Sif<1 %)亚微米级β-Si3N4的制备进行了研究,在研究中采用细硅粉团粒作为原料,试验结果表明:用团粒为原料合成的β-Si3N4粒度为0.71 μm时,其游离硅含量为0.65 %,而采用常规的硅粉为原料时,当β-Si3N4粒度为0.69 μm时,游离硅的含量高达1.98 %.