【摘 要】
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一、引言热阴极电离计可测量从低真空(例如10乇)到极高真空(例如10~(-13)乇)的气体压强,是一种基本的物理仪器。其工作原理是根据Barkhauszen方程: ρ=I_+/SI_e。式中ρ是气
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一、引言热阴极电离计可测量从低真空(例如10乇)到极高真空(例如10~(-13)乇)的气体压强,是一种基本的物理仪器。其工作原理是根据Barkhauszen方程: ρ=I_+/SI_e。式中ρ是气体压强,I_e是灯丝(阴极)发射的电子电流,I_+是收集到的正离子电流。显然,为了使ρ与I_+成正比关系,必须满足以下两个条件:
I. INTRODUCTION The hot cathode ionization gauge is a basic physical instrument that can measure gas pressures from low vacuum (eg 10 torr) to very high vacuum (eg 10 to (-13) torr). Its working principle is based on the Barkhauszen equation: ρ = I _ + / SI_e. Where p is the gas pressure, I_e is the electron current emitted by the filament (cathode), and I_ + is the collected positive ion current. Obviously, to make ρ proportional to I_ +, we must satisfy the following two conditions:
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