论文部分内容阅读
1．纳米级电容测微系统的研究作者：于永新 周涛 郑义忠摘要：本文首先介绍了非接触式高精度电容测微仪的基本工作原理，进而详细论述了纳米级电容测微技术中所涉及到的非线性误差、环境噪声等关键技术问题，对典型驱动电缆方案作了比较。根据原理模型，给出了仪器的主要结构。对仪器自身产生的各种误差进行了详细的分析，并提出了相应的消除或修正方法。换用不同有效直径的传感器可以使仪器分辨力达到0．1am，测量范围±2-±50μm，满量程非线性优于0．5％。该仪器可广泛应用于通过串口、USB口通信的高精度动、