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一种光刻胶专用树脂的生产方法及应用
一种光刻胶专用树脂的生产方法及应用
来源 :辽宁化工 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ywg005
【摘 要】
:
光刻胶是微电子技术领域关键性基础材料,通常由树脂、感光剂、溶剂及各种添加剂组成。本文介绍了光刻胶专用树脂的生产工艺原理,探讨了光刻胶专用树脂生产工艺流程,总结了光
【作 者】
:
王树立
【机 构】
:
本溪市重点产业发展服务中心;
【出 处】
:
辽宁化工
【发表日期】
:
2004年期
【关键词】
:
光刻胶
专用树脂
生产工艺
应用
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光刻胶是微电子技术领域关键性基础材料,通常由树脂、感光剂、溶剂及各种添加剂组成。本文介绍了光刻胶专用树脂的生产工艺原理,探讨了光刻胶专用树脂生产工艺流程,总结了光刻胶专用树脂应用情况。
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