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利用阴极真空弧放电技术能够产生高密度的金属等离子体. 经过90度的磁过滤器,可艺除去金属等离子体中的大颗粒微粒,从而为制备高质量的、致密的各种薄膜提供了一种全新的技术.利用该技术制备薄膜具有非常广泛的应用.本文介绍了阴极真空弧放电技术的应用,以及磁过滤等离子体沉积和注入装置及其应用.
磁过滤等离子体沉积和注入技术
【摘 要】
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利用阴极真空弧放电技术能够产生高密度的金属等离子体. 经过90度的磁过滤器,可艺除去金属等离子体中的大颗粒微粒,从而为制备高质量的、致密的各种薄膜提供了一种全新的技术
【机 构】
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射线束技术与材料改性教育部重点实验室
【出 处】
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核技术
【发表日期】
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2002年9期
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