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期刊论文
PSG膜钝化技术的最佳设计
PSG膜钝化技术的最佳设计
来源 :电子器件 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lzslzs2002
【摘 要】
:
半导体表面钝化方法很多,但使用最广泛的是PSG膜.本文将着重讨论PSG膜钝化机理、膜的厚度及其磷含量的设计和控制.
【作 者】
:
张佐兰
【出 处】
:
电子器件
【发表日期】
:
1991年1期
【关键词】
:
半导体
表面纯化
PSG膜
磷含量
Surfaces Passivation
PSG films
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半导体表面钝化方法很多,但使用最广泛的是PSG膜.本文将着重讨论PSG膜钝化机理、膜的厚度及其磷含量的设计和控制.
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