【摘 要】
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提出了一种大口径高精度2×2阵列光栅拼接结构,采用模块化和框架式结构设计,保证拼接结构的稳定性；设计了差动螺纹微调组件与压电驱动器相结合的微纳调整组件结构,实现拼接光
【机 构】
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重庆大学机械传动国家重点实验室,重庆大学机械工程学院,中国工程物理研究院激光聚变研究中心
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划(863计划);中央高校基本科研项目;重庆大学“211工程”三期创新人才培养计划建设项目
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提出了一种大口径高精度2×2阵列光栅拼接结构,采用模块化和框架式结构设计,保证拼接结构的稳定性；设计了差动螺纹微调组件与压电驱动器相结合的微纳调整组件结构,实现拼接光栅微纳量级的调整要求；讨论了关键组件的设计和制造问题.设计制造的2×2阵列光栅实验样机的最大相对共面误差为17μm,微纳调整组件的最小调整精度可以达到1.8 nm,分辨力为0.9 nm,初步光路实验表明,设计的拼接调整机构可以快速实时地调整2×2阵列光栅达到要求的精度,且稳定时间大于1h.
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