【摘 要】
：
研究不同刻蚀条件下等离子体对钨表面的刻蚀变化,并对其原因进行分析有助于进一步了解其对钨的刻蚀机理,从而为如何提高钨材料的使用寿命提供一定的理论支撑.采用光纤光谱仪（A
论文部分内容阅读
研究不同刻蚀条件下等离子体对钨表面的刻蚀变化,并对其原因进行分析有助于进一步了解其对钨的刻蚀机理,从而为如何提高钨材料的使用寿命提供一定的理论支撑.采用光纤光谱仪（Avaspec—ULS2048一USB2）检测在不同放电条件下电子回旋共振（electron cyclotron resonance,ECR）等离子体中受激发的钨原子、钨离子谱线的相对强度,从而根据其谱线的相对强度可以直接地反映出不同刻蚀条件下的等离子体对钨表面刻蚀的强弱规律.结果表明:偏压越大对钨表面的刻蚀越严重,气压则呈现先增大后减小的趋势;在N2-Ar混合气体中随着N,体积分数的增加对钨的刻蚀逐渐增强;而对比He、N,和Ar三种气体,He等离子体对钨的刻蚀最为严重;在700 W、0.1 Pa条件下,0175 V偏压范围的He等离子体对轧制态钨的刻蚀比再结晶态钨严重,而在175 V之后结果却相反.
其他文献
铝及铝合金具有良好的导电性、导热性、延展性和机械加工性等,被广泛应用在日常生活和生产中。在面对不同应用环境时,铝合金产品会出现表面污染、腐蚀及结冰等问题,产生经济损失及安全使用性问题。而使铝及铝合金表面达到超疏水化,可以有效缓解这些问题。本文通过在铝合金表面构建粗糙结构和降低表面能,制备了超疏水性铝合金表面,主要研究结果如下:(1)利用3 mol/L HCl溶液刻蚀铝合金表面,以构建微纳粗糙结构,
目的 研究80例痔术后患者分别采用中药针灸治疗和西药治疗，对比其对患者生存质量的影响。方法 将80例痔术后患者分为中药针灸观察组和西药治疗对照组，中药针灸观察组采用中药针
本文首先分析管理会计融入企业经营中的应用优势,然后介绍当前管理会计在企业经营中的应用现状,再结合一些常见的管理会计工具研究其在企业经营中的具体应用方法.最后从管理
国家治理体系的现代化体现在教育治理的严谨性,在教育治理现代化的进程中,教育督导不仅为我国教育管理活动保驾护航,还为我国学前教育质量起着监测作用;其责任可谓重中之重。
ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技