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利用实时作图的方法 ,开发设计了椭偏仪数据处理应用程序 .该程序不但具有传统查图法简便直观的特点 ,而且不限制实验条件的选择 ,能够满足科学研究和实验教学的要求 .利用该程序和多入射角测量方法 ,能够确定薄膜的真实厚度
椭圆偏振法测量薄膜参量的数据处理
【摘 要】
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利用实时作图的方法 ,开发设计了椭偏仪数据处理应用程序 .该程序不但具有传统查图法简便直观的特点 ,而且不限制实验条件的选择 ,能够满足科学研究和实验教学的要求 .利用该
【机 构】
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四川大学材料科学系
【出 处】
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物理实验
【发表日期】
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2001年07期
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