一种无源无线SAW压力传感器结构设计

来源 :传感技术学报 | 被引量 : 22次 | 上传用户：ganlu0416

【摘要】

：

根据无源无线SAW压力传感器的敏感特点,提出了一种具有较高灵敏度的压力传感器结构设计.传感器的受力敏感部分采用简支梁结构,通过分析找到梁的最大应变点,在梁的上下两侧最大应变区域中心对称分布了两个相同的单端口SAW谐振器.由两个SAW谐振器组成差动式测量结构,具有较高的灵敏度,并减少了温度对测量结果的影响,对迟滞效应带来的误差有一定的补偿作用.

【作者】

：

刘文辉李平文玉梅

【机构】

：

重庆大学光电工程学院、光电技术及系统教育部重点实验室

【出处】

：

传感技术学报

【发表日期】

：

2007年04期

【关键词】

：

SAW压力传感器结构设计差动式频率测量灵敏度 SAW pressure sensor structure design difference fr

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