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毫秒级快速热退火设备市场前景广阔
毫秒级快速热退火设备市场前景广阔
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:asergh12
【摘 要】
:
领先的半导体设备供应商Mattson Technology日前宣布,一家全球领先的半导体制造商订购了其Millios(TM)fRTP(flash RTP)毫秒级快速热退火系统。这套针对45nm及以下工艺的设备预计在
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
2008年5期
【关键词】
:
退火设备
毫秒级
市场前景
TECHNOLOGY
设备供应商
快速热退火
半导体
制造商
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领先的半导体设备供应商Mattson Technology日前宣布,一家全球领先的半导体制造商订购了其Millios(TM)fRTP(flash RTP)毫秒级快速热退火系统。这套针对45nm及以下工艺的设备预计在5月份运抵该客户的300mm工厂内。
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