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通过测量CuCl2–CuCl–NaCl–HCl溶液的氧化还原电位(ORP),研究了酸性蚀刻液在蚀刻过程与电化学再生过程中ORP与溶液组成和温度的关系。结果表明,酸性蚀刻液的ORP随Cu+离子质量浓度的增加而降低,且在Cu2+离子质量浓度较高或总Cu质量浓度变化不大时与Cu+离子质量浓度的对数成正比。酸性蚀刻液中的溶解氧、Cu2+离子、Cl?离子和H+离子的浓度以及温度对ORP的测量有一定影响,但最大误差不超过0.9%。溶液组成一定时,ORP与测量温度成正比。ORP的测量可以指示酸性蚀刻液的蚀刻速率及其电化学再生过程。