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介绍了一种检测超高纯锗棒或锭的净杂质浓度的新方法,采用直流两探针法,在77K恒温下进行检测;两探针检测得到等间距电压降U,通过函数关系式计算得到电阻率ρ,再根据函数关系式|NA-ND|=1/(ρ×q×μ),计算得到探针笔间的锗棒或锭的平均净杂质浓度|NA-ND|。该方法可以检测锗棒或锭的整体杂质浓度,检测结果相对准确,检测效率高,有利于产业化。