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本文讨论在1．0±0．05g／min的沉积速率下PCVD工艺中的热迁移效应，以及它对工艺及产品质量的影响。
PCVD工艺中的热迁移效应
【摘 要】
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本文讨论在1．0±0．05g／min的沉积速率下PCVD工艺中的热迁移效应，以及它对工艺及产品质量的影响。
【机 构】
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长飞光纤光缆有限公司
【出 处】
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光通信研究
【发表日期】
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1998年06期
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