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论文提出了绝对式光栅尺可靠性设计原则,总结了光栅尺的各个功能结构,分析了各个元部件的失效模式,为后续诊断机制的建立提供了依据。
绝对式光栅尺故障模式分析
【摘 要】
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论文提出了绝对式光栅尺可靠性设计原则,总结了光栅尺的各个功能结构,分析了各个元部件的失效模式,为后续诊断机制的建立提供了依据。
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
【出 处】
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机电产品开发与创新
【发表日期】
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2017年04期
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