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按照外场驱动微电机的驱动机制进行分类,简要介绍了各类微电机的制造工艺及应用前景,综述了各类微电机的研究与应用现状。指出了当前外场驱动微电机领域的研究热点,分析了微电机在实际应用中存在的困难。展望了外场驱动微电机未来的发展趋势及应用前景。
NEMS外场驱动微电机研究进展
【摘 要】
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按照外场驱动微电机的驱动机制进行分类,简要介绍了各类微电机的制造工艺及应用前景,综述了各类微电机的研究与应用现状。指出了当前外场驱动微电机领域的研究热点,分析了微
【机 构】
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燕山大学
【出 处】
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微特电机
【发表日期】
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2019年03期
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