BAW滤波器声-电磁协同仿真中的共地电感效应

来源 :强激光与粒子束 | 被引量 : 0次 | 上传用户：toneygao

【摘要】

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针对体声波（BAW）滤波器声-电磁协同仿真结果中滤波器的左传输零点向左偏移的现象,验证仿真中共地电感效应的存在并分析其对滤波器性能的影响。通过分别改变BAW滤波器原始布局中

【作者】

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高杨贾乐张大鹏

【机构】

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中国工程物理研究院电子工程研究所,西南科技大学信息工程学院,中国科学院高能物理研究所核探测与核电子学国家重点实验室

【出处】

：

强激光与粒子束

【发表日期】

：

2018年6期

【关键词】

：

BAW滤波器声-电磁协同仿真电磁耦合共地电感 bulk acoustic wave filtercombined acoustic electromagn

【基金项目】

：

国家自然科学基金项目（61574131）, 核探测与核电子学国家重点实验室开放课题基金项目（2016KF-02）, 西南科技大学特殊环境机器人技术四川省重点实验室开放基金项目（14ZXTK01）

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针对体声波（BAW）滤波器声-电磁协同仿真结果中滤波器的左传输零点向左偏移的现象,验证仿真中共地电感效应的存在并分析其对滤波器性能的影响。通过分别改变BAW滤波器原始布局中的并联薄膜体声波谐振器（FBAR）P1和P4引线到地的位置,即将并联FBAR P1和P4引线到地的路径分别变短后进行声-电磁协同仿真。结果对比表明：声-电磁协同仿真中并联FBAR引线到地与输入、输出端口之间存在共地电感效应。将并联FBAR引线到地的路径变短,滤波器在声-电磁协同仿真中形成的共地电感效应减小,带外抑制性能变好。共地电感效应

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