【摘 要】
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本文论述了沉积保护涂层的冷等离子体技术。用于陶瓷薄层时,过程温度可以降低,因此可在沉积前进行金属热处理。在对钢表面硬化时,可大大缩短处理时间和节约能源。本文提出了
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本文论述了沉积保护涂层的冷等离子体技术。用于陶瓷薄层时,过程温度可以降低,因此可在沉积前进行金属热处理。在对钢表面硬化时,可大大缩短处理时间和节约能源。本文提出了在冷系统中等离子体与表面反应的简单模式,讨论了与该模式有关的沉积技术。
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