【摘 要】
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为了改善类金刚石碳膜的性能,采用高功率等离子磁控溅射法将含钛非晶碳薄膜沉积在304不锈钢基材上,气源为C2H2-Ar混合气体,金属钛为阴极靶材。为了改善附着力和降低残余应力,
【机 构】
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Department of Engineering Science and Ocean Engineering,National Taiwan University,Taipei,Department
【出 处】
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Transactions of Nonferrous Metals Society of China
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为了改善类金刚石碳膜的性能,采用高功率等离子磁控溅射法将含钛非晶碳薄膜沉积在304不锈钢基材上,气源为C2H2-Ar混合气体,金属钛为阴极靶材。为了改善附着力和降低残余应力,制备了含Ti/TiC/DLC多层结构的镀膜。利用GDS、XRD、SEM、Raman光谱法、纳米压痕仪和盘-销摩擦计研究基材偏压及基材与靶材的距离对薄膜性能的影响。结果表明,薄膜具有优良的粘合强度和韧性。
In order to improve the performance of diamond-like carbon films, a high-power plasma magnetron sputtering method was used to deposit titanium-containing amorphous carbon films on a 304 stainless steel substrate. The gas source was C2H2-Ar mixed gas, and titanium metal was used as the cathode target. In order to improve adhesion and reduce residual stress, a Ti / TiC / DLC multilayers coating was prepared. The effects of substrate bias and distance between substrate and target on the properties of the films were investigated by GDS, XRD, SEM, Raman spectroscopy, nanoindentation and disk-pin tribometer. The results show that the film has excellent adhesion strength and toughness.
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