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利用普通物理实验室的He-Ne激光器,便可通过衍射方法来对各种细丝外径进行测量.实验表明,这是一种高精度的非接触测量,它通过对衍射图像的检测来求细线的外径,其测量精度可达0.05微米.
用衍射方法测量微小直径
【摘 要】
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利用普通物理实验室的He-Ne激光器,便可通过衍射方法来对各种细丝外径进行测量.实验表明,这是一种高精度的非接触测量,它通过对衍射图像的检测来求细线的外径,其测量精度可达
【机 构】
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洛阳工业高等专科学校自动化系,洛阳工业高等专科学校洛阳工学院
【出 处】
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洛阳工业高等专科学校学报
【发表日期】
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2002年2期
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