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以正丙醇锆和正硅酸乙酯分别为锆源和硅源,正丙醇为溶剂,无水柠檬酸为辅助添加剂,采用非水解溶胶-凝胶结合浸渍-提拉镀膜工艺在碳化硅(SiC)基底上制备硅酸锆(ZrSiO4)抗氧化薄膜。采用XRD、FT-IR、SEM、EDS等分析测试手段研究了无水柠檬酸辅助ZrSiO4合成影响机理,以及无水柠檬酸添加量、镀膜次数对ZrSiO4合成和薄膜形貌的影响,并研究了薄膜的抗氧化性能。结果表明:无水柠檬酸能促进矿化剂氟化锂(LiF)在正丙醇中的溶解,从而促进纯相ZrSiO4的合成。当无水柠檬酸添加量(与正丙醇锆的摩尔比)