论文部分内容阅读
采用溶胶凝胶（Sol-Gel）法制备了铌元素（Nb）取代Ti元素的Bi4Ti3O12（BTN）铁电薄膜，研究不同掺杂浓度，不同退火温度等工艺对BTN薄膜的微观特性及剩余极化强度、矫顽场等电性能的影响。研究表明，650℃进行退火的BTN薄膜生长形态，晶粒开始呈棒状生长；当温度高于850℃时，薄膜的C轴生长取向增长趋势不再明显。铁电性方面，对Ti进行2％掺杂取代的BTN薄膜的铁电性能最佳。从而获得了BTN薄膜制备的合理工艺参数。