【摘 要】
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<正> 引言用硅腐蚀工艺制造硅机械零件,尺寸小,价格便宜,而且具有“能把传感器执行元件,机械结构和控制电路集成在一块基片上”的可能性。对于执行元件所产生的机械动作采用
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<正> 引言用硅腐蚀工艺制造硅机械零件,尺寸小,价格便宜,而且具有“能把传感器执行元件,机械结构和控制电路集成在一块基片上”的可能性。对于执行元件所产生的机械动作采用压电材料来实现。这种微型机械系统潜在的运用领域有两方面: 第一:运用在电子学的装配工作中。新一代电子仪器中,要求同一空间放上越来越多的元件,因此联线多而且短,用大的传统工具会使元件受到破坏,而微型机械系统就适合于电子仪器装配。第二:运用在医学领域中。尽管医学领域中产
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