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InGaZnO薄膜晶体管背板的层间Cu互连静电保护

来源 :物理学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wr123456789dtdx

【作 者】

：

马群刚 王海宏 张盛东 陈旭 王婷婷

【出 处】

：

物理学报

【发表日期】

：

2019年07期

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