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基于PLC控制的YAMAHA机器人手臂晶圆去边工艺研究
基于PLC控制的YAMAHA机器人手臂晶圆去边工艺研究
来源 :机械管理开发 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yunzh
【摘 要】
:
阐述了晶圆材料的相关发展,介绍了机器人手臂模拟人手的具体流程和详细功能,分析了设备整体的硬件架构和软件设计,并对匀胶工艺进行了探究.设备投产后显著降低了失误率,提高
【作 者】
:
白雁兵
王宁
【机 构】
:
中电科风华信息装备股份有限公司
【出 处】
:
机械管理开发
【发表日期】
:
2020年11期
【关键词】
:
晶圆
光刻胶
自动控制
匀胶工艺
crystal elementphotoresistautomatic controlleveling process
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阐述了晶圆材料的相关发展,介绍了机器人手臂模拟人手的具体流程和详细功能,分析了设备整体的硬件架构和软件设计,并对匀胶工艺进行了探究.设备投产后显著降低了失误率,提高了生产效率,减少了人工成本,得到客户的一致好评.
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