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以微圆柱阵列塑件为对象，分析了超声振动微注射模的结构设计要点及影响制品成型质量的因素，设计了带有抽真空排气、油加热与水冷却联合控温的超声振动微注射模。通过注射成型试验，获得了质量合格的微圆柱阵列塑件。结果表明，在微注射成型过程中施加超声振动及抽真空排气能够有效提高聚合物熔体充模流动性能和塑件上微结构部分的填充完整性。