塑料微球厚有机涂层制备研究

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采用低压等离子体化学气相沉积(LPP-CVD)并结合反弹盘方法在靶球表面涂敷厚的CxH1-xI涂层。使用反式-2-丁烯为工作气体的沉积速率相对较慢,最高为1μm/h,而使用苯乙烯时,沉积速率提高到3-4μm/h。结合反弹盘技术,在塑料微球上涂敷了厚度为50-80μm的CxH1-x涂层,涂敷薄膜的表面均方根粗糙度小于50nm。
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