【摘 要】
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文章讨论了ＭＪＢ３ＵＶ３００型光刻机的控制调整。以及抗蚀剂工艺条件的改进，消除影响曝光分辨率的驻波和衍射作用，实现了边缘整齐陡直、０．４μｍ条宽的光刻。
The article discusses the MJB3UV300
【机 构】
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集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区，吉林工业大学
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文章讨论了ＭＪＢ３ＵＶ３００型光刻机的控制调整。以及抗蚀剂工艺条件的改进，消除影响曝光分辨率的驻波和衍射作用，实现了边缘整齐陡直、０．４μｍ条宽的光刻。
The article discusses the MJB3UV300 lithography control adjustments. As well as the improvement of the process conditions of the resist, the standing wave and the diffraction effect that affect the resolution of the exposure are eliminated, and the neat and steep edge and the width of 0.4 μm are lithographically realized.
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