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用真空蒸方法在玻璃衬底上沉积ＳｎＯ２薄膜。在氮气，氧气气氛下对薄膜进行不同温度条件热处理，实验表明，热处理后薄膜的结构和光学性能均有了很大的改善。
热处理对SnO_2薄膜光学特性的影响
【摘 要】
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用真空蒸方法在玻璃衬底上沉积ＳｎＯ２薄膜。在氮气，氧气气氛下对薄膜进行不同温度条件热处理，实验表明，热处理后薄膜的结构和光学性能均有了很大的改善。
【机 构】
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内蒙古大学新能源研究中心
【出 处】
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内蒙古大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1998年4期
【基金项目】
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国家重点科技攻关资助
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